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      核心技术

      工艺平台

      公司一直致力于数模混合信号制程和功率IC制程的开发,拥有6吋、8吋及12吋全尺寸晶圆制造能力,并构建了独特的工艺平台体系,涵盖CMOS/Analog、BiCMOS、RF/Mixed-Signal、BCD、HV、e-NVM及MEMS 等,以及一系列客制化工艺平台。

      工艺路线图

      6&8路线图

      Tech.

      BCD

      HV CMOS

      Mixed-Signal

      Logic

      e-NVW

      0.13μm/0.11μm

      抠图 (2)



      抠图 (2)

      抠图 (2)

      0.18μm/0.153μm

      抠图 (1)

      抠图 (2)

      抠图 (2)

      抠图 (2)

      抠图 (2)

      0.25μm

      抠图 (1)


      抠图 (2)



      0.35μm



      抠图 (2)

      抠图 (2)

      抠图 (2)

      0.5μm

      抠图 (1)

      抠图 (2)

      抠图 (2)

      抠图 (2)


      0.5μm

      抠图 (2)

      抠图 (2)

      抠图 (2)

      抠图 (2)


      1.0μm


      抠图 (2)

      抠图 (2)

      抠图 (2)


      MEMS

      BAW/SAW, Pressure sensor, Microphone sensor, Photoelectric MEMS and Thermopiles sensor, Accelerometer, Gas sensor and Micro-mirror

      Special Device

      APD/SPAD, Si-Cap, eDTC

      抠图 (2) Available      * include SOI Process          



      12吋路线图


      LP

      e-NVM

      HV

      RF

      BCD

      ULP

      90T

      抠图 (5)

      抠图 (3)



      抠图 (5)


      90nm

      抠图 (5)

      抠图 (3)

      抠图 (2)


      55nm

      抠图 (5)

      抠图 (3)

      抠图 (3)

      抠图 (2)

      抠图 (4)


      40nm

      抠图 (5)

      抠图 (3)

      抠图 (4)

      抠图 (2)


      抠图 (2)

      抠图 (5)已发布/量产 抠图 (3)客户验证 抠图 (2)研发中 抠图 (4)规划中  


      电压

      SGT

      LV

      SJ

      IGBT

      15~30V

      80d94d74-9 & 图片21

      80d94d74-9 & 图片21

      30~60V

      图片22图片22

      60~100V

      图片22

      图片22



      100~200V

      图片22 & 图片21




      200~400V



      80d94d74-9 图片21

      400~800V



      图片22图片22

      800~1200V



      80d94d74-980d94d74-9

      1200~1700V




      图片21

      图片22 量产  图片21 开发 80d94d74-9 风险量产  

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